作者：王丽影,秦顺利,马洪宇 单位：中煤科工集团常州研究院有限公司 出版：《工矿自动化》2018年第10期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMKZD2018100050 DOC编号：DOCMKZD2018100059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在ANSYS有限元分析软件中对矿用微机电系统(MEMS)甲烷传感器硅微加热器功率进行了优化设计。首先建立了基于已知掺杂浓度求解一定温度范围内硅电阻率的计算模型；然后根据计算结果，利用ANSYS软件对U型双悬臂梁式硅微加热器进行了以掺杂浓度、两悬臂间距、悬臂梁宽度为影响因素的正交试验，研究了不同因素对硅微加热器功率的影响。试验结果表明：悬臂梁宽度和掺杂浓度为硅微加热器功率的主要影响因素，两悬臂间距影响较小；硅微加热器功率随悬臂梁宽度的减小而减小，随掺杂浓度的升高先增大后减小；温度为600℃时，选取悬臂梁宽度为25μm、掺杂浓度为1019 cm-3、两悬臂间距为10μm可使硅微加热器功率最优。

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