《BiFeO_3纳米纤维压电式压力传感器的制备工艺研究》PDF+DOC
作者:盛伟光,谭晓兰,张久超
单位:中国微米纳米技术学会;天津大学
出版:《Nanotechnology and Precision Engineering》2016年第05期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFNMJM2016050110
DOC编号:DOCNMJM2016050119
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以铁酸铋(BiFeO_3,BFO)作为压力敏感材料,利用其压电特性,将通过静电纺丝法制备的纳米纤维与光刻、溅射、干法刻蚀等MEMS加工工艺制备的硅基底片相结合,设计工艺流程并制备了BFO纳米纤维压电式压力传感器,得到质量较高的传感器样片.分析工艺流程,得到工艺顺序为先刻蚀硅腔260μm,接着制备电极,再刻蚀硅腔90μm,最后纺丝纳米纤维;在一定条件下纤维取向最优的实验参数是推进速度、电压、接收距离和极板间距分别为0.3 m L/h、19 k V、14 cm和10 cm,为铁电材料在微器件上的应用提供了参考。
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