作者：汪家奇 单位：清华大学 出版：《实验技术与管理》2018年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSYJL2018010250 DOC编号：DOCSYJL2018010259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为打破国外的技术垄断，研发了一款能够敏感105~10-1 Pa的皮拉尼真空传感器，该传感器利用CMOS工艺加工，在同一个硅片上集成了传感器单元、采集电路、信号处理电路及数字接口电路，构成与CMOS工艺兼容的集成皮拉尼真空检测系统，可直接用于半导体设备腔室中真空度的测量。

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