《F-P腔式光纤MEMS压力传感器的设计》PDF+DOC

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2. 《基于F-P腔的光纤MEMS压力传感器》PDF+DOC 为了满足航天、工业等领域对微型压力传感器的需求，提出了一种基于非本征型法布里-珀罗腔的光纤MEMS压力传感器。该传感器的传感头由硅片、Pyrex7740玻璃经阳极键合制作而成，传感头与光纤准直器采用紫外胶粘合。法布里-珀罗腔的长度随加载压力的增大呈线性减小趋势，从而引起干涉光谱的变化，采用白光干涉解......
3. 《基于飞秒激光加工的无膜光纤气体压力传感器》PDF+DOC 设计了一种基于飞秒激光加工的无膜式光纤气体压力传感器。通过熔接形成了单模光纤-空心光纤-无芯光纤(NCF)结构，熔接结构中的两个熔接面作为反射面，构成一个低精细度的外腔式法布里-珀罗干涉仪(EFPI)。利用飞秒激光加工结构中的空心光纤部分，烧蚀出一个与外界环境连通的小孔。外界气体压力的变化引起EFP......
4. 《基于微椭球空气腔的光纤压力传感器的设计》PDF+DOC 设计了一种新型的在线光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器。该传感器的F-P腔为微椭球空气腔，由光纤熔接机以特定的熔接参数熔接单模光纤和实芯光子晶体光纤而成。该传感器基于F-P干涉原理测量压力，全石英结构，制作工艺简单，温度串扰小。分析了封闭的椭球形空气F-P腔中短轴直径(腔长)与长轴半径(敏感膜有效......
5. 《对F-P腔式气体光纤传感器信号解调方法的研究》PDF+DOC 研究了一种新型的基于法-珀(F-P)腔式气体光纤传感器信号解调的方法。应用F-P腔的多光束干涉原理和气体吸收的朗-比定律建立起检测的数学模型，在理论上设计了其信号的解调方法，模拟分析了有效光程对待测气体浓度的影响及影响该方法检测精度的因素，从模拟结果分析了如何选择腔长的变化范围以确保频率间隔适用于实......
6. 《F-P腔式光纤压力传感器温度补偿设计研究》PDF+DOC F-P式光纤压力传感器因其独有的优点广泛应用于军事、民用领域。由于自身结构的关系，F-P式光纤压力传感器的性能受温度影响较大。本文通过对中空F-P式光纤压力传感器制作过程中相关参数的设计计算，对如何实现传感器自身的温度补偿设计进行了探索性研究。...
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9. 《白光干涉解调光纤MEMS压力传感器》PDF+DOC 为了在强电磁干扰、高温、高压等恶劣环境下实现压力的测量，进一步提高传感器的小型化并降低其制作成本，提出并设计了一种基于白光干涉解调的光纤法布里-珀罗压力传感器，实现了传感器的压力测量.基于微机电系统技术，采用光刻、阳极键合以及化学腐蚀的方法制作了以硅和玻璃构成的法布里-珀罗腔体，使用二氧化碳激光器对......
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