作者：孙道恒,崔在甫,周颖锋,周排弟,易伟劲,林晓龙,王凌云 单位：南京电子技术研究所 出版：《电子机械工程》2018年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZJX2018010010 DOC编号：DOCDZJX2018010019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 随着航空发动机、燃气轮机、内燃机、石油化工设备等的设计、运行要求不断提高，对典型高温薄膜传感器如高温薄膜应变计、高温薄膜温度计、高温薄膜热流量计的需求越来越迫切。文中介绍了高温薄膜应变计、高温薄膜温度计、高温薄膜热流量计以及多功能集成高温薄膜传感器等典型高温薄膜传感器的研究现状，分析了它们在敏感材料、材料体系、制造工艺和信号传输方面存在的主要问题，可为应用于更严酷环境的高温薄膜传感器的技术研究提供参考。

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