作者:宋斌,曹文杰,尤庆亮 单位:江汉大学 出版:《江汉大学学报(自然科学版)》2018年第03期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFWHZG2018030060 DOC编号:DOCWHZG2018030069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 为了制备平整的氧传感器芯片空气孔道,采用了丝网印刷的方法。相应配制了一种适印性的炭浆,优化的条件为:优选了活性炭和松油醇、最佳的球磨级配为m_(Φ6.5)∶m_(Φ3)=1∶2、球磨时间为12 h、分散剂含量为30%、胶含量为5%。在优化的条件下制备的空气孔道平整稳定,该制备方法具有精度高、形状平整可控、成本低以及操作简便等优点。

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