作者：王海星,吉耀辉,逯斐,谭秋林,熊继军 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2018年第05期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2018050060 DOC编号：DOCBDTQ2018050069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 无源压力传感器在一些极端环境下有着广阔的应用前景。提出了一种新型无源LC薄膜高温压力传感器，在传统的平面螺旋电感基础上加入了多组叉指电容。传感器的基底材料采用的是高温共烧陶瓷(HTCC)，通过厚膜后烧工艺将平面螺旋电感和叉指电容集成在HTCC基板上完成传感器的制备。本传感器较传统的LC传感器实现了单层布线，制作工艺简单，节约了制作成本。在实验室的条件下，完成了高温压力复合测试平台的搭建，在高温环境下，测试了传感器的压力性能。测试结果表明，该传感器能够在800℃环境中稳定工作，并且完成了1~4 bar(1 bar=10~5 Pa)内压力的原位测试，传感器的谐振频率随外界压力的增大而减小，在相同环境温度条件下谐振频率随压力的变化近似于线性变化。

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