作者：候湘瑜,张健 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2018年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2018040020 DOC编号：DOCCGJS2018040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 通过离子交换技术对衬底表面改性，然后喷墨打印掩膜图形，在聚酰亚胺衬底两面分别制备了银叉指电极和加热电阻。通过调节电阻加热器两端的直流偏压，实现25℃~280℃的控温加热。集成的加热器具有双重功能：纳米ZnO敏感薄膜原位沉积和高温检测。结果表明，该传感器对丙酮气体的灵敏度随温度单调增加(&lt；150℃)。此外，加热器促进了ZnO敏感薄膜表面丙酮气体分子的解吸，缩短了传感器响应和恢复时间，并减小了初始电阻的漂移。此外，在丙酮检测中，加热器能有效地减少湿度干扰。

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