作者：乔晶,陈德媛,段亚丽,梁吴燕,谷云斌 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》2017年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG2017060080 DOC编号：DOCBDTG2017060089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种考虑温度影响的基于光子晶体的微压力传感器，传感器由微压力传感和温度传感两部分构成，其中微压力传感部分测量的是所处温度环境下的压力值。两部分传感器均利用波导和腔的耦合实现带阻滤波功能，根据带阻滤波器的模式在所处温度下线性红移，分别计算相应的温度值和该温度下的压力值，并通过热光效应和热膨胀效应计算出温度对器件材料折射率的影响，从而得到真实的微压力。文中对结构参数进行了优化设计，实现了1.33nm/μN的微压力灵敏度。

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