作者：陈莉 单位：西安市三才科技实业有限公司 出版：《电子设计工程》2018年第15期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGWDZ2018150300 DOC编号：DOCGWDZ2018150309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对球型电容位移传感器电容量变化微小，极板结构材质特殊，尺寸极其微小，通过电容传感器测量的变化量易受周围环境中寄生电容的干扰问题，提出了基于高精度的微弱电容检测电路系统的方法。该方法首先通过理论静电场出发，建立球型电容传感器在导体球内外表面的电容模型。然后在该模型基础上，对不同的待测目标进行电容信号的测量，并通过对测量结果的信号进行仿真分析。从仿真结果分析了微弱电容的大小，最后设计的微弱电容检测系统的检测范围可达0~1.5 p F，分辨率优于0.36 f F。从而使得电容传感器实现5 nm的位移分辨率，且通用性与稳定性均较好，实验也验证了该检测电路方案的有效性。

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