《基于PZT的500 MHz超声传感器设计和MEMS制作》PDF+DOC
作者:刘嘉,王续博,徐卫疆,周嘉
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2018年第07期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2018070180
DOC编号:DOCCGQJ2018070189
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利用KLM等效电路模型设计了一种中心频率为478 MHz的超声传感器。采用溶胶—凝胶法在硅衬底上制备了厚度为4μm的锆钛酸铅(PZT)厚膜压电材料,对压电材料的晶体结构、表面剖面形貌、压电性进行了测试,材料均匀致密,具有较好的压电性。研究了超声传感器的制作工艺,制作出实际工作频率为459 MHz的高频超声传感器,搭建测试平台测试其电阻抗,实验值与理论值相匹配,电阻抗误差为1.8%,中心频率误差为3.9%。
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