作者：刘扬,谭晓兰,鲍娜娜,刘宁 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2018年第10期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2018100060 DOC编号：DOCBDTQ2018100069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计制作了一种柔性压力传感器，以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)作为柔性基底，用静电纺丝技术制备的锆钛酸铅(PZT)纳米纤维作为敏感材料。将PZT纳米纤维铺设到带有氧化铟锡(ITO)叉指电极的PET柔性基底上，再将聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜覆盖在PZT纳米纤维上制成柔性压力传感器。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分别对PZT纳米纤维的晶体结构和形貌进行了表征，并通过测试系统测试了传感器的性能。测试结果表明：在20~60 kPa内，随着压强的增大，传感器的开路电压随之线性增大，最大约为10 V，其中灵敏度约为180 mV/kPa。

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