作者:陈玉玲,史岩峰,张艳华,张巧寿 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2018年第05期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2018050030 DOC编号:DOCYBJS2018050039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 压差传感器用于伺服系统作动器两腔压力差的测量,文中针对高可靠性、高精度、耐高温、小型化压差传感器的应用需求,提出了高可靠性压差传感器的设计方案并进行测试,主要包括芯体设计、结构设计和电路设计。该产品采用SOI硅晶圆材料制作压力敏感芯片,可在150℃下正常工作。传感器通过性能测试以及环境试验,试验结果表明该传感器能够满足实际使用要求,在150℃下温度漂移和灵敏度漂移均小于±0.1%FS/℃。

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