作者：韩兴宇,黄堃,石云波,曹慧亮 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2018年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2018020160 DOC编号：DOCYDSG2018020169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对传统微光机电系统(MOEMS)光学加速度传感器结构复杂、信号解算繁琐等缺点，该文设计了一种基于绝缘衬底上的硅(SOI)片上工艺的，光强差分测量加速度的MOEMS加速度计。该传感器的主要光强调制部件为90&#176；V型镜，在V型镜的对应位置上集成3个光纤通道，入射光经V型镜反射后进入2条输出光纤通道。加速度信号由进入2条光纤通道的光强差检测。器件的所有部分集成在单一的SOI晶圆片上，由一次深刻蚀工艺制造。与传统传感器比较，具有工艺简单、抗电磁干扰和有效抑制共模信号等优势。加速度计的性能指标：微机械灵敏度为0.077 7μm/g(g=9.8m/s~2)，谐振频率为1.79kHz，传感器灵敏度为5.46mV/g。

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