作者： 单位：中国航天系统科学与工程研究院 出版：《军民两用技术与产品》2017年第23期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHTJM2017230680 DOC编号：DOCHTJM2017230689 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 技术开发单位中国航天科技集团公司航天动力技术研究院陕西电器研究所技术简介溅射薄膜压强传感器主要涉及溅射薄膜压强传感器敏感结构设计、金属纳米薄膜敏感芯体批量生产工艺及多功能智能信号处理技术等技术，其核心是敏感器件结构设计及其离子束溅射成型工艺。离子束溅射是采用低能加速器轰击，基于动量交换作用搬迁原子，形成薄膜的淀积技术，可将纳米薄膜应变电阻直

    📙 相关资料

    1. 《企业组优胜奖 智慧货运计重车联网》PDF+DOC 参赛单位陕西电器研究所公司简介陕西电器研究所隶属于中国航天科技集团公司航天动力技术研究院，主要从事传感器及其延伸产品的研制生产、工业测试系统的研制生产，以及过程自动化装置的系统集成。该研究所研制的传感器已成功应用于载人航天工程和探月工程，获得了多项国家及省部级科技进步奖；在民用领域，其产品广泛应用于......
    2. 《溅射薄膜应变式压力传感器》PDF+DOC 利用溅射使材料薄膜化的技术在电子器件以及其它方面得到了迅速的发展。这是因为薄膜具有和体材料不同的性质，利用这种性质就有可能得到以前技术不能得到的器件。溅射薄膜应变式压力传感器就是正在开发中的这类器件中的一种。这种溅射薄膜应变式传感器是利用通过溅射在产生应变的梁和膜片等上面直接形成薄膜。它的组成材料全......
    3. 《离子束溅射薄膜压力传感器的动态特性》PDF+DOC 用数学建模的方法将相同结构参数的离子束溅射薄膜压力传感器和粘贴式应变计压力传感器动态特性做比较 ，二者在瞬态特性上基本相同。但在宽脉冲方波气压激励下 ，所用溅射薄膜压力传感器出现响应失真现象。对问题的产生原因和机理进行分析 ，认为问题的产生原因可能在于方波压力上升沿导致的被测气体温度变化。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。