作者：彭东林,付敏,陈锡侯,刘小康,汤其富,武亮 单位：中国机械工程学会 出版：《机械工程学报》2018年第10期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXXB2018100060 DOC编号：DOCJXXB2018100069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 对现有广泛使用的主要位移传感器和全新原理的时栅位移传感器，按其测量基准、测量原理、数学模型和刻划媒介等方面的不同进行了科学分类，分析其间的联系与差别、优势与不足、各自适用的场合等技术特征。介绍时栅在测量原理上的先进性，经权威部门——中国测试技术研究院检定：目前圆式、直线式时栅的测量精度分别达到&#177；0.8″、&#177；0.5μm/m，分辨力分别达到0.1″、0.1μm。为了使时栅的测量精度向纳米级测量精度迈进，对基于电场和光场原理的纳米时栅进行了分析。另外对时栅的衍生技术-寄生式时栅及其在极端特殊环境下的应用前景进行了简单介绍。

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