作者：张浩,王宏伟,郝少华,陈培敏 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2018年第11期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2018110270 DOC编号：DOCCGQJ2018110279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于弹性优良的铍青铜材料制作了一种具有双梁三明治式电容倾角传感器，并采用专用电容检测芯片MS3110将倾角传感器的差分电容信号转换为电压信号，同时通过微控制器STM32的控制芯片检测参数实现对传感器非线性的补偿，使倾角测量仪系统具有良好的线性度；通过模数转换器(ADC)采集和转换将数据显示在屏幕上。实验证明：设计的电容式倾角测量仪系统具有测量范围广、稳定性高、线性度好的特点。

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