《基于电容传感器的插针微位移检测方法》PDF+DOC

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4. 《用于电容传感器的谐振检测技术》PDF+DOC 介绍了用于电容传感器测量小电容的谐振检测技术。这一技术提供了较高的测量分辨率。当被测电容在几个到１０几个ｐＦ时，其测量分辨率优于１．５ｆＦ．杂散电容可自动补偿。文中介绍了这一技术，并报告了实验结果。...
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