作者:赵一宇,李红浪,程利娜,柯亚兵,郭霄鹏,何世堂 单位:中国科学院声学研究所 出版:《声学学报》2018年第05期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFXIBA2018050110 DOC编号:DOCXIBA2018050119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 针对硅酸镓镧声表面波压力传感器,提出了一种温度和压力的多参数解耦方法。理论上采用有限元方法与微扰理论结合,计算传感器在不同温度、压力下频率响应。根据计算结果,构造出传感器温度与压力的解耦公式。以一种基于LGS(0°,0°,100°)点压力式SAW传感器为例,理论计算得到其温度与压力解耦公式的具体参数,同时与在-55℃~125℃,0~1 MPa范围内的实验测试结果对比。理论分析和实验测试结果基本吻合,验证了温度压力多参量解耦方法的正确性。

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