作者：刘沙皓伦,邢维巍,李昊霖,邹梦启 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2018年第10期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2018100010 DOC编号：DOCCGQJ2018100019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 对微机械压力传感器中的残余应力研究进展进行了综述。概述和总结了国内外微机械压力传感器的研究进展和存在问题，分析了残余应力对传感器的零点失调、零点温度系数、输出非线性和输出频率等方面的影响，总结了材料属性、加工温度等因素对残余应力的影响，展望了残余应力测量的发展和趋势。指出可以通过结构设计的优化等方式控制或利用残余应力，达到提高稳定性的目的。

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