作者：史鑫,王伟,李金平 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2018年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2018050180 DOC编号：DOCCGQJ2018050189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对绝缘体上硅(SOI)压阻式噪声传感器的动态测量问题，利用声学特性分析基础进行声学结构设计，以保证噪声传感器的频响特性。设计了一种SOI感声膜芯片及与声腔结构构成的声敏感结构，通过调整结构参数可达到调整声腔的频率特性的目的。测试结果表明：噪声传感器具有良好的动态检测特性。

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