作者：刘梓枫,梁骥,张孟伦 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2017年第06期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2017060060 DOC编号：DOCNMJM2017060069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于MEMS工艺制造的薄膜体声波谐振器(FBAR)是一种新型的质量传感器，在气相环境中具有极高的Q值，但在液相环境中，由于液体阻尼作用，FBAR的Q值大幅降低.本文提出了一种谐振器与微流道集成的解决方案，避免了谐振器和液体的大范围接触，有效提高了谐振器的Q值.通过设计新的加工流程，利用标准MEMS工艺实现了微流道和谐振器的集成.将该集成器件用于葡萄糖浓度的检测，结果表明其具有较小的检测极限和极高的线性度.由于充分利用了MEMS技术能进行大批量器件加工的特点，可极大地降低器件成本.集成微流道后，大大降低了样品的使用量，可实现对微升级别样品的检测，在微量检测中具有重要的应用前景。

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