作者:郭剑锋,刘庆辉,郑国恒,杨洁,时朝晖 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2017年第08期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2017080080 DOC编号:DOCCGQJ2017080089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 基于石英晶体微天平(QCM)的湿度传感器是一种以石英晶体为核心元件的新型高灵敏度传感器。根据气相中晶体振荡电路的起振和稳定条件,对晶体表面敏感薄膜吸附水分时等效电路参数的变化进行建模,得到了一种新型的基于QCM的湿度传感器等效电路模型。通过电路仿真软件PSPICE对模型进行仿真,并搭建QCM湿度传感器实验测量平台,结果验证了基于QCM的湿度传感器等效电路模型的有效性和正确性,对QCM湿度传感器的振荡电路的进一步设计和优化具有指导意义。

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