作者：高晓丹,彭建坤,吕大娟 单位：中国航天科工集团公司第三研究院第八三五八研究所 出版：《红外与激光工程》2018年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHWYJ2018010350 DOC编号：DOCHWYJ2018010359 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了研制结构简单、成本低、可批量生产的微型光纤温度传感器，分析了薄膜干涉型光纤温度传感器的原理，选用Zr O2和Al2O3两种介质薄膜材料，采用TFCalc膜系设计软件设计了薄膜干涉型光纤温度敏感探头的膜系，由南光ZZS1100-8/G箱式真空镀膜系统采用电子束蒸发技术在普通多模光纤端面蒸镀介质薄膜，形成法布里-珀罗(Fabry-Perot)薄膜干涉，并搭建光纤温度传感测试系统，测试结果表明：在200~600℃范围内，所设计的干涉型光纤温度传感器的测试光谱随温度变化产生一定的波长漂移，且波长漂移的温度特性为线性，线性相关系数为99.7%，灵敏度为8.37&#215；10-6/℃。基于法布里-珀罗干涉的薄膜型光纤温度传感器体积小，成本低，结构紧凑，可批量生产，适合安装位置狭小或对传感器集成化要求较高的场合。

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