作者：陶鑫,袁道成,李少博 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2018年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2018020400 DOC编号：DOCYBJS2018020409 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 文中提出一种基于电容位移传感器测量金属球的非接触三维定位方法。通过理论与实验方法研究了定位精度的影响因素，发现定位精度与传感器的参数、金属球球径、传感器与金属球表面之间的距离等参数有关。通过优化参数设计实验，采用CSH02FL-CRm1，4电容式微位移传感器获得了小于2μm的x、y方向定位精度，小于0.1μm的z方向定位精度。

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