作者：范贤光,阙靖,王昕,许英杰,吴腾达,陈军 单位：北京长城航空测控技术研究所 出版：《测控技术》2017年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFIKJS2017120240 DOC编号：DOCIKJS2017120249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计并加工了一种结构简单、小巧的微动定位系统，该系统精度较高、扫描范围大且成本低廉。采用簧片结构设计系统的机械结构，使用压电陶瓷作为执行器件，使用差动电容传感器作为位移反馈，实现闭环控制，从而有效克服了压电陶瓷执行器件的迟滞和蠕变效应。介绍了微动定位系统的机械组成和差动电容传感器信号检测电路的工作原理，并对系统进行了测试和标定实验。实验结果显示：该平台能够实现15μm的扫描，精度约为15 nm，且动态性能良好。

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