作者：袁昌荣,孙中圣,李小宁 单位：南京机械工程学会;南京机电产业(集团)有限公司 出版：《机械制造与自动化》2017年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZZHD2017040240 DOC编号：DOCZZHD2017040249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为研究MEMS热膜式流量传感器异物污染后的测量精度变化与污染程度的关系，通过试验分析了芯片表面污染物分布情况，建立了异物堆积模拟示意图。采用fluent流体分析软件，研究了异物堆积后MEMS芯片表面流速的变化。通过分析可知，当有异物堆积时，芯片表面附近区域流速会发生变化，比无异物堆积时变小，且速度差随入口速度的增加而增加。

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