作者：王成杨,李玉玲,丁文波,金建东,王冲 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2018年第07期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2018070240 DOC编号：DOCCGQJ2018070249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了一种基于微机电系统(MEMS)工艺的以氧化钨(WO3)为敏感材料的微结构气体传感器，并从半导体理论解释了WO3对二氧化氮(NO_2)的敏感机理。气体传感器芯片尺寸为1.3 mm&#215；1.3 mm，微热板的有效面积为0.4 mm&#215；0.4 mm。实验结果表明：设计的气体传感器对NO_2气体表现出良好的响应，在最佳工作温度下(140℃)功耗为23 m W，最低检测限达50&#215；10-9，响应时间为60 s，恢复时间为180 s。

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