《电容式湿度传感器专利技术综述》PDF+DOC
作者:李进
单位:黑龙江省科普事业中心
出版:《科学技术创新》2018年第25期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHLKX2018250290
DOC编号:DOCHLKX2018250299
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本文从专利角度对湿度传感器中应用最广泛的电容式湿度传感器技术的发展进行了梳理。基于电容式湿度传感器材料、结构不同,工艺不同,其性能和技术指标有很大差异,对其材料,结构的发展路线进行分析,筛选得到相关重要专利,形成电容式湿度传感器领域的技术发展脉络。
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