作者：刘扬,谭晓兰,刘园园,冯春鹏 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2018年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2018030070 DOC编号：DOCBDTQ2018030079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 制作了一种BiFeO_3纳米纤维压力传感器和测试装置，用测试装置对压力传感器进行测试，并对测试数据进行分析。采用BiFeO_3纳米纤维作为敏感材料，利用微电子机械系统(MEMS)加工工艺制备出带有叉指电极的硅基底，用静电纺丝设备将BiFeO_3纳米纤维铺设到叉指电极上面，再将PDMS薄膜覆盖在纳米纤维上制成压力传感器。在磁感应强度0和80 mT下，用自制的测试装置分别采集25℃和80℃下0~20 kPa的输出电压。得知输入压力与输出电压基本呈线性关系，温度和磁场的变化对传感器的影响不大，BiFeO_3纳米纤维压力传感器的最大输出电压达到了0.91 mV。

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