作者:吴凌慧,徐冬 单位:哈尔滨工程大学 出版:《应用科技》2018年第04期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYYKJ2018040260 DOC编号:DOCYYKJ2018040269 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 为了解决高温恶劣环境下压力测量问题,设计了一种大压力、高过载、耐高温、耐恶劣环境的小体积压差传感器。通过有限元分析对传感器绝缘体上硅(silicon on insulator,SOI)压力敏感膜片结构进行优化设计,使其能够满足恶劣环境的使用要求。通过试验证明这种压差传感器具有良好的耐高温、耐恶劣环境的特性。

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