作者：马婷婷,马书鯼,张爱军 单位：东南大学 出版：《电子器件》2017年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ2017060060 DOC编号：DOCDZQJ2017060069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 随着MEMS技术的飞速发展，可靠性问题逐渐成为MEMS器件在军事和商业中应用的重要阻碍。结合器件的工作环境，分别从高温、高温高湿、温度冲击、过电压、压力过载、温湿循环等环境负载方面探讨硅压阻式MEMS压力传感器的工艺可靠性问题。试验结果表明，环境负载后，圆片级器件特性参数基本无变化，而封装级器件特性参数有不同程度的漂移。参照工厂制定的工艺标准(&lt；10%)，封装级器件测试数据可以有效监控MEM产品的工艺质量。

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