作者：何良辰,宋跃,刘洋,刘杨 单位：天津市工业自动化仪表研究所;天津市自动化学会 出版：《自动化与仪表》2015年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDHY2015110090 DOC编号：DOCZDHY2015110099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 考虑到光刻机微动台相对于硅片调平运动的快速性、准确性和稳定性的要求，提出了一种基于DSP与FPGA的三自由度调平控制系统设计和实现方法。以TI公司的DSP TMS320C6414芯片为主控制器，Altera公司的EP2S60F102014N为协控制器，设计了以EP2C5Q208C8N为可编程器件的信号采集模块、传感器模块和驱动电路等方面，并通过实验证明整个控制系统的稳定性、快速性和准确性。

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