作者：孙宁,叶子,宋小军,刘伟景 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2018年第11期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2018110050 DOC编号：DOCBDTQ2018110059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用水热法制备了不同摩尔分数Ni掺杂的ZnO纳米线，并通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)对所制备的材料进行表征分析。采用介电泳方法将其定位到预先设计的Ti/Au叉指电极上形成湿敏传感膜，以此为基础构建湿度传感器并进行传感特性测试分析。结果表明，通过Ni掺杂对材料表面氧缺陷浓度和表面原子活性进行调控，改善了低湿阶段阻抗变化线性度，有效提升了传感器灵敏度、迟滞和响应恢复等性能，同时具有优异的稳定性与重复性。尤其是摩尔分数为5%的Ni掺杂量湿度传感器，在高湿下灵敏度达到96 742.11%，响应时间提升至3 s，远优于未掺杂湿度传感器。此外，还利用复阻抗频谱图与敏感材料表面水分子吸/脱附机制对传感器湿敏传感机理作了进一步研究。

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