作者：张焕卿,白雪婧,王德波 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2018年第01期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2018010140 DOC编号：DOCYQXB2018010149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS微波功率传感器拉格朗日模型的研究》PDF+DOC2018年第08期 张焕卿,戴瑞萍,陆颢瓒,白雪婧,王德波 《MEMS微波功率传感器等效电路模型的研究》PDF+DOC2018年第12期 白雪婧,胡加杨,李龙飞,王德波 《双通道MEMS微波功率传感器的匹配特性》PDF+DOC2018年第09期 魏良栋,戴瑞萍,陆颢瓒,王德波 《一种新型MEMS微波功率传感器的理论模型与优化设计》PDF+DOC2006年第05期 黄从朝,黄庆安,廖小平 《MEMS传感器的计步算法研究》PDF+DOC2017年第01期 楼喜中,陟力,方俊 《热电式MEMS微波功率传感器的热学特性研究》PDF+DOC2019年第06期 戴瑞萍,胡加杨,李龙飞,王德波 《热隔离式MEMS气体流量传感器的设计》PDF+DOC2020年第08期 徐洋 《一种扭转谐振式MEMS电场传感器》PDF+DOC2019年第06期 储昭志,彭春荣,任仁,凌必赟,张洲威,夏善红 《金刚石膜MEMS及其应用》PDF+DOC2004年第07期 崔玉亭 《机械故障信息监测MEMS高频加速度传感器》PDF+DOC2012年第06期 赵玉龙,刘岩,孙禄

    • 为了提高热电式微机电系统(MEMS)微波功率传感器的灵敏度特性，建立了噪声系数、时间常数和灵敏度的理论解析模型。根据理论解析模型，分析得到了影响噪声系数、时间常数的首要因素、次要因素；然后，探究了噪声系数和时间常数对灵敏度特性的制约；最终，发现制约热电式MEMS微波功率传感器灵敏度特性的两个关键结构参数：热电偶的长度和数目。依据所建立的理论解析模型，设计了一种渐变结构的热电式MEMS微波功率传感器，实验表明该传感器在8~12 GHz频率范围的回波损耗在-22~-19 dB，具有较好的匹配特性。系统灵敏度分别为0.23 mV/mW@8 GHz、0.22 mV/mW@10 GHz、0.21 mV/mW@12 GHz，较与传统结构的灵敏度特性有了较大改善。因此，所建立的噪声系数、时间常数和灵敏度的理论解析模型对于研究热电式MEMS微波功率传感器具有一定的参考价值和指导意义。

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