作者：宫占江,李金平,毕佳宇,孙立凯 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2018年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2018050270 DOC编号：DOCCGQJ2018050279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《纤毛式MEMS矢量水声传感器的仿生组装》PDF+DOC2009年第03期 张国军,陈尚,薛晨阳,张斌珍,张开瑞 《组合式MEMS三维矢量水声传感器》PDF+DOC2015年第09期 郭楠,张国军,刘梦然,简泽明,张文栋 《一种自主定向磁复合三维MEMS矢量水听器》PDF+DOC2014年第06期 李金平,史鑫,王晔,孙立凯,张鹏 《基于MEMS压力传感器阵列的浪涌检测技术研究》PDF+DOC2017年第06期 齐娜,付士民,王世宁,刘兴宇,陈丽洁 《一种用于MEMS检测的无耦合六维力传感器的研制》PDF+DOC2003年第Z1期 贺德建,张鸿海,刘胜,汪学方,王志勇 《侵彻武器用MEMS大g值加速度计》PDF+DOC2002年第03期 屈新芬,苏伟 《电容式位移传感器的信号处理电路设计》PDF+DOC2011年第17期 李寅生,张段芹,袁超,李聪,马斌强 《MEMS技术在流体控制中的应用》PDF+DOC2007年第01期 易亮,欧毅,陈大鹏,叶甜春 《谐振式MEMS磁传感器数字锁相放大器设计》PDF+DOC2019年第04期 任泽龙,刘松,梁亨茂,李宝清,熊斌 《用MEMS加速度计作为拾音器完美再现乐器音效》PDF+DOC2009年第09期 Rob O’Reilly,Alex Khenkin,Kieran Harney

    • 介绍了一种磁方位补偿微机电系统(MEMS)矢量水声传感器。采用电容原理MEMS技术构造内部振子，并与信号处理电路紧靠方式设计，可减小噪声干扰并抑制信号衰减。利用磁方位修正技术，对MEMS矢量水声传感器判定的方位进行修正，解决了单个矢量水声传感器定向精度不高问题。传感器完成了国家一级计量站标定和磁方位误差修正测试，测试结果验证了定向方法的可行性，矢量水声传感器可实现水下目标探测、定位及导航等任务。

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