《基于微硅热丝的热流式加速度传感器》PDF+DOC
作者：王欢,李以贵,蔡金东,吕曈,吴文渊
单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
出版：《微纳电子技术》2018年第11期
页数：7页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFBDTQ2018110040
DOC编号：DOCBDTQ2018110049
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微加速度传感器由微压电泵驱动的连续循环密闭气流流路、硅热丝传感器以及惠斯登电桥测量电路三部分组成。利用硅热丝可以检测射流气体偏转引起的电阻变化，并通过惠斯登电桥电路测量出对应的加速度。基于硅热阻效应原理和微纳加工技术，设计和制备了一种成本低、体积小、寿命长、耐冲击和振动的热流式微加速度传感器。利用ANSYS软件进行仿真，分析了连续循环密闭气流的流速分布图。基于光刻、硅刻蚀和键合等微纳加工技术，在绝缘衬底上的硅(SOI)基板上制备了基于微硅热丝的加速度传感器。经测试，硅丝(长400μm×；宽4μm×；高2μm)在室温下电阻为45 kΩ，电阻温度系数(TCR)为4.6×；10-3/℃，传感器X和Y两个方向上的灵敏度为8 mV/g。使用该方法制备的热流式传感器具有体积小、耐冲击和灵敏度高等优势。
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