作者：何柳丰,窦文堃,刘军山 单位：广东省机械研究所;广东省机械技术情报站;广东省机械工程学会 出版：《机电工程技术》2018年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXKF2018110070 DOC编号：DOCJXKF2018110079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于微机电系统技术，在柔性聚酰亚胺(PI)基底上分别制作弓形与蛇形两种结构的铜薄膜与铂薄膜温度传感器。采用红外成像设备对传感器在通电状态下的热分布进行测试，结果表明PI基底具有良好的热绝缘性。对不同结构、不同金属薄膜的传感器性能进行对比分析，在25～90℃的温度测试范围内，4种温度传感器均具有较好的灵敏度和线性度，其中蛇形结构的铂薄膜温度传感器的线性度最好，线性相关系数达到了0.99933，其电阻温度系数为0.002 35/℃。

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