作者：远望 单位：沈阳日报报业集团 出版：《人生十六七》2019年第07期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFRSSL2019070120 DOC编号：DOCRSSL2019070129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《用于误差补偿的二维微量进给刀架》PDF+DOC2001年第01期 高栋,姚英学,袁哲俊 《应用于精密工程的宽范围原子力显微镜研究》PDF+DOC1994年第03期 张鸿海,曹伟,江福祥,李文菊,周学夫,师汉民,陈日曜 《纳米测量机工作台导轨高精度误差分离原理》PDF+DOC2006年第12期 杨洪涛,费业泰,陈晓怀 《Queensgate纳米工作台的关键技术》PDF+DOC2002年第01期 杨圣,曲扬铭,张丽敏 《传感的挑战与未来》PDF+DOC2012年第Z1期 陈骥 《基于高速光纤链路的同步测控机制》PDF+DOC2011年第19期 程鑫,周云飞,胡永兵,王耀 《2008年十大新兴科技回顾》PDF+DOC2009年第07期 《平面磨床试验研究》PDF+DOC2007年第02期 雷宇晓,陈宗帖,陈家权,沈炜良

    • 01光刻机制造芯片的光刻机，其精度决定了芯片性能的上限。在“十二五”科技成就展览上，中国生产的最好的光刻机，加工精度是90纳米。这相当于2004年上市的奔腾四CPU的水准。而国外已经做到了十几纳米。光刻机里有两个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片。两者需始终同步，误差在2纳米以下。两个工作台由静到动，加速度跟导弹发射差不多。在工作时，相当于两架大飞机从起飞到降落，始终齐头并进一架飞机上伸出一把刀，在另一架飞机的米粒上刻字，不能刻坏了。

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