作者：石云波,杨志才,王艳阳,陈艳香,智丹 单位：中国惯性技术学会 出版：《中国惯性技术学报》2015年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGXJ2015060260 DOC编号：DOCZGXJ2015060269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了保证高量程加速度计在冲击过程中的可靠性、有效性，减小其失效几率，以Hopkinson杆作为加载手段，采用激光干涉法对量程为1.0′10~5 g_n的4端全固支压阻式梁-岛结构微加速度计进行冲击试验，并分析了高量程加速度计抗过载能力及在冲击环境下失效模式和失效机理。试验中抽样对同种结构的10只传感器分别进行了冲击测试，根据测试结果可知，该结构的微加速度计抗过载能力为1.3′10~5g_n。通过分析可知失效模式主要表现为微结构梁的断裂、裂纹、键合点脱落现象。通过研究失效模式产生的原因发现，造成结构出现断裂、裂纹现象的原因主要有两种：一是重复连续冲击测试引起微结构疲劳产生失效；二是由于在冲击过程中加速度计芯片与该过程中产生的高频信号分量发生共振导致过载瞬间增大加速度计芯片结构位移失控使结构失效。通过采用不同手段完善传感器结构，提高了其可靠性。

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