作者：韩昊轩,张国峰,张雪,梁恬恬,应利良,王永良,彭炜,王镇 单位：中国物理学会 出版：《》 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWLXB2019130320 DOC编号：DOCWLXB2019130329 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 超导量子干涉器件(superconducting quantum interference device， SQUID)作为一种极灵敏的磁通传感器，在生物磁探测、低场核磁共振、地球物理等领域得到广泛应用.本文介绍了一种基于SQUID的高灵敏度磁强计，由SQUID和一组磁通变压器组成. SQUID采用一阶梯度构型，增强其抗干扰性.磁通变压器由多匝螺旋的输入线圈和大尺寸单匝探测线圈组成，其中输入线圈与SQUID通过互感进行磁通耦合.利用自主工艺平台，在4英寸硅衬底上完成了基于Nb/Al-AlO_x/Nb约瑟夫森隧道结的SQUID磁强计制备.低温测试结果显示，该磁强计磁场灵敏度为0.36 nT/Φ_0，白噪声段磁通噪声为8μΦ_0/√Hz，等效磁场噪声为2.88 fT/√Hz。

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