作者：田姣姣,尤敏敏,林祖德,白毅韦,战光辉,刘景全 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2019年第01期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2019010050 DOC编号：DOCBDTQ2019010059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计制造了一种改进的双螺旋结构MEMS加热器，可用于高温气体传感器作为加热和传感单元。该MEMS加热器以Si为基底，SiO2/Si3N4纳米薄膜作为绝热层，Pt/Ti金属薄膜作为加热单元和传感单元。通过应用并联的线宽由内向外逐渐减小的双螺旋结构，实现温度的均匀性和低功耗。用Comsol进行仿真优化结构，通过MEMS工艺加工制造出器件并进行了测试，用红外显微测温仪测试器件在不同电压下的电热特性。该器件表现出低功耗、响应迅速、高可靠性和高的温度电阻系数(TCR)等特点。器件加热到687.7℃，功耗仅120 mW。器件的升温(23～600℃)响应时间和降温(600～23℃)响应时间分别为1 ms和2.5 ms。该加热器可以在687.7℃的高温下工作至少5 h而保持性能不变。

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