作者： 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2016年第01期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2016010200 DOC编号：DOCCGSJ2016010209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《位置传感技术研究进展》PDF+DOC2005年第10期 刘增辉,赖英旭 《基于GP2Y0A02的位置测量的设计》PDF+DOC2014年第02期 李建新 《HAL~?39xy 3D霍尔效应位置传感器》PDF+DOC2019年第03期 《利用PSD提高激光三角法在线测量的精度》PDF+DOC1998年第04期 金世俊,黄惟一,江潼君 《具有弹性膜片的电容位移传感器》PDF+DOC1992年第03期 P.Roth,袁凤 《使用光导纤维和电容传(干心)器的非接触式位移和振动测量系统》PDF+DOC1980年第02期 Lawrence J.Lagace,路嘉运 《电磁感应式位置传感器研究》PDF+DOC2017年第04期 刘会森,张玉莲,董全林,丁莹,张春熹 《一种大范围高精度定量传感器》PDF+DOC2011年第02期 胡连华,李新平,汤伟 《低温液位计》PDF+DOC2008年第06期 曹建,安刚,马晨辉,岳婷 《新型控制器让有杆泵充满度决定泵速》PDF+DOC2008年第03期

    • NX Nano Sensor采用电容性测微技术，位置测量灵敏度达到原子级别。这种先进的非接触式位置测量系统依赖于两个传感器板：一个用作目标，一个用作探头，而在它们之间则形成一个平行板电容器。通过采用适当的电子控制器，这两个板之间的距离可以准确地确定。NX Nano Sensor的主要应用包括阶段反馈、振动测量、计量、变形测量、精密制造，漂移测量、精密波束控制和显微镜等。NX Nano Sensor测量精度高于7pm，线性度为

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