作者: 单位:南京电子技术研究所 出版:《电子机械工程》2019年第01期 页数:1页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZJX2019010100 DOC编号:DOCDZJX2019010109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 据《大众科学》杂志网站报道,美国普渡大学的研究人员找到了一种方法,可以让微机电系统进行自我校准,这一研究成果有望打开研发各类超高精度的传感器和设备的大门,可在医学、工程以及国防领域发挥作用。微机电系统的尺寸不到十亿分之一米,在如此微小的尺度上制造这种设备难免会存在误差,要保证生产出的微机电系统完全一致是不太可能的。既然没有可靠的方法来制造2个一模一样的微机电系统,就必须采用一些校准手段来尽量避免或者减小它们在计量时彼此之间的误差。然

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