作者：张何丽,姜欢,张冰,任一涛 单位：中国光学学会;中国科学院西安光学精密机械研究所 出版：《光子学报》2019年第01期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGZXB2019010240 DOC编号：DOCGZXB2019010249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 运用光波导的模式理论设计了多层集成光波导干涉芯片，对芯片的光波导结构和材料参数进行优化，并制作了集成干涉芯片.借助集成芯片的波导双通道，通过干涉获得了高对比度的远场干涉条纹.在实验误差范围内，当外界环境条件发生微小变化时，干涉条纹发生移动，符合杨氏双缝干涉理论的预期.芯片对水汽、酒精的探测灵敏度约为100ppm，并具有足够的温度稳定性.该集成干涉芯片具有低浓度环境气体检测的应用前景，可为集成高灵敏气体传感器的开发提供发展平台。

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