《封面说明》PDF+DOC
作者:
单位:中国科学院;国家自然科学基金委员会
出版:《科学通报》2019年第12期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFKXTB2019120010
DOC编号:DOCKXTB2019120019
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《硅微机械与光纤组合式列阵传感器的研制工艺》PDF+DOC1995年第04期 温志渝,钟先信,黄友恕,徐涛,孙晓松,朱维安
《微电子机械系统》PDF+DOC1995年第10期 王跃林,苏以撒,王文
《微电子机械技术的研究和发展趋势》PDF+DOC2005年第01期 余丹铭,梁利华,许杨剑
《市场角》PDF+DOC2003年第12期
《微机电系统技术进展》PDF+DOC2003年第05期 张西慧,梁春广
《微机电系统科学与技术的现状研究》PDF+DOC2003年第11期 黄志奇,杜平安,卢凉
《微机电系统(MEMS)研究现状及展望》PDF+DOC2002年第07期 张贵钦
《微机电系统的研究与展望》PDF+DOC2011年第03期 陈勇华
《一种新型的硅谐振式微传感器频率特性测试系统》PDF+DOC2009年第S1期 汤章阳,樊尚春,蔡晨光
《MEMS微电子机械系统与流程工业自动化》PDF+DOC2009年第07期 卞正岗
飞秒激光微纳加工技术具有三维可设计制造、高精度、高空间分辨率、材料适用范围广等优势,在三维微纳结构制备领域显示了巨大的应用前景.近年来,随着国内外对超短脉冲激光与物质相互作用规律的深入研究,超快激光微纳加工技术不断进步,其应用领域拓展至微光学、微传感器、微电子学、微机械、微流控及仿生微纳制造等多个方向.借助超快激光微纳加工技术,一系列常规加工手段无法制备的复杂微纳结构被成
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