作者：孟泽江,李思坤,王向朝,步扬,戴凤钊,杨朝兴 单位：中国光学学会 出版：《光学学报》2019年第09期 页数：12页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXXB2019090180 DOC编号：DOCGXXB2019090189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对穆勒矩阵成像椭偏仪的系统误差源提出一种简化分析方法，将光强曲线的理想傅里叶级数系数组与实际系数组进行近似匹配，建立穆勒矩阵测量误差与误差源参数之间的线性模型。针对解析式复杂的随机方位角误差，从统计学角度提出了一种等效噪声模型以分析其对测量结果的影响。采用上述简化方法系统分析了椭偏仪的6种系统误差源和2种随机误差源对穆勒矩阵测量结果的影响，并以一个典型光刻投影物镜的穆勒光瞳为检测对象，进行了检测仿真。仿真结果验证了所提方法分析的准确性。

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