作者：高杨,张大鹏,刘婷婷 单位：中国测试技术研究院 出版：《中国测试》2019年第09期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSYCS2019090010 DOC编号：DOCSYCS2019090019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 薄膜体声波谐振器(FBAR)力学传感器有很大的应用潜力，但其敏感机理——应力负载效应尚不能被准确描述。为准确描述应力负载效应，预测FBAR力学传感器的频率灵敏度，提出一种摄动与有限元联合求解方法，并利用该方法计算FBAR微加速度计的频率-加速度灵敏度。首先，在COMSOL有限元软件中计算FBAR微加速度计在加速度下其压电层AlN的平均偏置应力；接着，在COMSOL中计算单个FBAR的谐振频率与相应的振型；最后，将有限元的计算数据和AlN的材料常数代入摄动积分公式中，得到FBAR微加速度计的频率-加速度灵敏度约为–98.879 kHz/g，与文献报道的实验结果–100 kHz/g相吻合，验证方法的可行性。

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