作者：陈福彬,田文杰,高锦春 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2019年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2019030070 DOC编号：DOCYDSG2019030079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 石英谐振器可以作为传感器的敏感元件。为了减小温度等因素的干扰，提高石英晶体谐振器力敏特性，通过能陷理论及其厚度剪切石英晶体谐振能量分布曲线的计算，在同一圆形晶片上设计了多电极力敏谐振器集群。根据共模抑制原理，将谐振器集群输出频率信号作差频处理，以此抑制温度等因素的干扰，再将差频信号叠加以提高石英晶体谐振器集群整体力敏特性。实验结果表明，石英谐振器集群差频输出的温频特性明显优于传统的单电极谐振器，石英晶体谐振器集群整体力灵敏度系数提高到9 992 Hz/N。

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