作者:李俊丽,刘赟 单位:中国半导体行业协会 出版:《中国集成电路》2019年第07期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJCDI2019070150 DOC编号:DOCJCDI2019070159 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 环境振动对精密仪器、设备的影响越来越不可忽视,直接影响其性能。传统的被动式隔振装置对低频振动有放大作用,隔振性能较差,不能满足现代超精密仪器设备的需求,必须采用精密的主动隔振装置隔离外部振动及直接振动。本文阐述了主动隔振技术的原理及分类,并介绍了一种主动隔振装置控制方法,该方法采用多输入多输出控制策略消除振动耦合,采用智能前馈和非线性控制技术以提高系统的抗扰动性能。

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